常用的抛光粉末来自混合稀土，辅以氟化物、石英、钙、钡、铁和少量其他杂质。20世纪60年代至70年代，抛光粉的制备工艺和生产方法取得了相对集中的研究成果。稀土抛光材料常用的制备工艺是在固体下使稀土富集发生化学变化，从而转化为机械化学性能稳定的化合物。稀土氧化物含量为40~70%(含30~65%的氧化物)，粒度为1~4微米。抛光粉价格相对便宜，切割率高。主要用于抛光阴极射线管、平板玻璃和镜片。第二种氧化物基抛光粉末采用化学沉淀法生产。