常用的抛光粉末来自混合稀土，辅以氟化物、石英、钙、钡、铁和少量其他杂质。20世纪60年代至70年代，抛光粉末的制备工艺和生产方法取得了相对集中的研究成果。稀土抛光材料常用的制备工艺是在固态下对稀土富集物进行化学变化，从而转化为机械化学性能稳定的化合物。用来制备稀土抛光材料的稀土氧化物含量为40~70%(含30~65%氧化物)，粒度为1~4微米。抛光粉价格相对便宜，切割率高。主要用于抛光阴极射线管、平板玻璃和镜物基抛光粉末是通过化学沉淀产生的。